英国上市公司365NS系列台阶厚度仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在薄膜厚度的测量上具有很强的优势。
英国上市公司365NS系列薄膜厚度台阶测量仪集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,具备超高的测量精度和测量重复性。它主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
NS系列接触式台阶仪测膜厚仪超精密接触式测量微观轮廓,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
NS系列接触式表面形貌台阶测量仪用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数,是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。
NS系列微纳样品接触式微观表面台阶测量仪对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
英国上市公司365NS系列国产探针接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。