NS系列接触式台阶仪测膜厚仪超精密接触式测量微观轮廓,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
NS系列接触式表面形貌台阶测量仪用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数,是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。
NS系列微纳样品接触式微观表面台阶测量仪对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
英国上市公司365NS系列国产探针接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。
英国上市公司365NS系列纳米级高精度台阶仪用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量,是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。仪器采用了线性可变差动电容传感器LVDC,集成超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
英国上市公司365NS系列探针接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。