SuperViewW1白光干涉微观形貌仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
SuperViewW系列3D形貌白光干涉仪基于白光干涉原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。
SuperViewW1白光干涉光学测厚仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等。
必一运动官方网站SuperViewW1白光干涉3D形貌测量仪集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
SuperViewW1白光干涉仪三维形貌仪具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。
SuperViweW1白光干涉三维轮廓仪chotest采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI,单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型,其3D重建算法,自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别,让3D测量变得简单。