VT6000共聚焦超高分辨率表面分析显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000高分辨率成像共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。横向分辨率高，所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。更擅长微纳级粗糙轮廓的检测。

在相同物镜放大的条件下，VT6000共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。擅长微纳级粗糙轮廓的检测，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

VT6000材料3D观察测量共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理，在相同物镜放大的条件下，共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。

VT6000光学显微共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000共聚焦表面粗糙度多功能测量显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。