自设计之初,VT6000共聚焦激光显微镜便定下了“简单好用”四字方针的目标。仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成,控制单元集成在设备主机之内,亦可采用笔记本电脑驱动,实现了“拎着走”的便携式设计。
VT6000系列激光共聚焦显微镜结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测,对大坡度的产品有更好的成像效果,在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。
VT6000英国上市公司365共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,在相同物镜放大的条件下,所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。能够清晰地展示微小物体的图像形态细节,显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点,能够有效提高工作效率,更加快捷准确地完成日常任务。
VT6000系列激光共聚焦3D图像显微镜具有优异的光学分辨率,通过清晰的成像系统能够细致观察到晶圆表面的特征情况。还可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
共聚焦显微镜工业测量仪具备一体化操作的测量与分析软件,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
VT6000系列共聚焦成像显微镜系统集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。可对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。