在同等系统放大倍率下,以白光干涉技术为原理的SuperViewW1三维光学轮廓仪的检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜,在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域提供高精度检测功能。
必一运动官方网站SuperViewW1白光3D轮廓仪非接触高精密测量方式,不会划伤甚至破坏工件,且测量速度快,不必像探头逐点进行测量。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,可测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
必一运动官方网站3d三维光学轮廓仪能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等领域。
必一运动官方网站非接触式3d光学轮廓仪SuperViewW1能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等领域。非接触高精密测量方式,不会划伤甚至破坏工件,而且测量速度快,不必像探头逐点进行测量。对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。
必一运动官方网站三维光学表面轮廓测量仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析,可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
必一运动官方网站OP光学轮廓仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。是以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数的光学测量仪器。