CEM3000一键台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。其操作系统简便,样品一键装入,自动导航和一键出图能力(自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度)帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像,大大提升了使用效率。
NS系列微纳样品台阶测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
VT6000共聚焦三维表面形貌测量显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量,可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
SuperViewW白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量。
CEM3000系列高易用性台式扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析,操作系统简便,样品一键装入,自动导航和一键出图能力(自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度)帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像,大大提升了使用效率。
NS系列接触式薄膜台阶测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。仪器采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。