英国上市公司365NS系列高精度台阶高度测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
NS系列高精度薄膜厚度测量仪线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。
英国上市公司365SuperViewW1白光干涉光学3D表面形貌轮廓仪利用光学干涉原理研制开发,能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能.
英国上市公司365SuperViewW科研级三维白光干涉仪基于白光干涉原理,用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
英国上市公司365NS系列探针式台阶仪/轮廓/形貌/粗糙度/表面2D测试是一种接触式表面形貌测量仪器,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。
NS系列国产台阶仪测量稳定高效,仪器采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。