NS系列高精度探针式轮廓仪单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。
VT6000自动三维共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理,结合高稳定性结构设计和优异的3D重建算法,共同组成测量系统,用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量,可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
英国上市公司365高分辨率钨灯丝扫描电镜CEM3000系列是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。其抗振设计,在充满机械振动和噪音的工业环境中依旧稳如泰山,拍摄出清晰、高分辨率的图像。
CEM3000一键台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。其操作系统简便,样品一键装入,自动导航和一键出图能力(自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度)帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像,大大提升了使用效率。
NS系列微纳样品台阶测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
VT6000共聚焦三维表面形貌测量显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量,可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。