VT6000共聚焦表面粗糙度多功能测量显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中,其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。
NS系列沉积薄膜高度台阶仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
CEM3000系列台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。该系列电镜也可通过加装各类探头和附件,满足用户的拓展性需求,这使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域得到了广泛应用。我们也乐于根据客户提出的需求,定制个性化的技术方案,配合客户挖掘深层次的使用需求。
VT6000共聚焦光学类测量显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。
SuperViewW三维形貌显微白光干涉仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点。
NS系列国产台阶仪测量膜厚仪器是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。