SJ6000激光干涉仪检定位移传感器的应用

利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是测量精度高、反应速度快、易于数字化测量。

在测量中设计一个精密导轨，将反射镜同被测传感器放在一起同步检测，从而形成对比。位移传感器自动检定系统与SJ6000激光干涉仪（标准）对定长位移进行测试对比，得出往复测试实验结果。实验环境：室温18℃；相对湿度：52％RH；气压：754mmHg给出的位移检定系统的读数与激光干涉仪读数，其差值小于±2．0um，这一误差满足预期的研究指标要求（不大于±2．5um）。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、*高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。